驗(yàn)收結(jié)束后，國(guó)儀量子代表正式遞交售后服務(wù)承諾書(shū)。

儀器位于中國(guó)科大中區(qū)理化科學(xué)實(shí)驗(yàn)中心一樓128房間，有需要的用戶(hù)可登中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)理化實(shí)驗(yàn)中心網(wǎng)站進(jìn)行預(yù)約。

國(guó)儀量子原位高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

SEM5000X為國(guó)儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司自主研制的超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡，該設(shè)備具有穩(wěn)定的電子光學(xué)系統(tǒng)，通過(guò)電子光學(xué)鏡筒設(shè)計(jì)優(yōu)化，綜合像差大大降低，實(shí)現(xiàn)了超高分辨率。擁有鏡筒內(nèi)高壓隧道模式，可在低壓下直接對(duì)高低起伏的不導(dǎo)電樣品進(jìn)行高分辨成像。以其超高分辨率和高穩(wěn)定性，可在先進(jìn)納米結(jié)構(gòu)和納米材料的研究、高端芯片半導(dǎo)體的研發(fā)制造等領(lǐng)域發(fā)揮其性能優(yōu)勢(shì)，可觀察物體二次電子像、成分襯度像、電子通道襯度像，同時(shí)可進(jìn)行X射線(xiàn)能譜分析、電子背散射衍射分析、原位微納米力學(xué)性能測(cè)試。配備了空氣敏感樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng)，可對(duì)空氣敏感樣品進(jìn)行形貌、EDS及EBSD表征。

形貌像：

空氣敏感樣品轉(zhuǎn)移系統(tǒng)：純Li氣氛保護(hù)前后樣品形貌：

低活化鐵素體/馬氏體鋼晶粒取向圖：

單晶Si微柱壓縮動(dòng)畫(huà)：