國(guó)儀量子場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM5000Pro

產(chǎn)品介紹

SEM5000Pro是一款分辨率高、功能豐富的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。

先進(jìn)的鏡筒設(shè)計(jì)，高壓隧道技術(shù)（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低電壓高分辨率成像，同時(shí)磁性樣品可適用。光學(xué)導(dǎo)航、完善的自動(dòng)功能、精心設(shè)計(jì)的人機(jī)交互，優(yōu)化的操作和使用流程，無論經(jīng)驗(yàn)是否豐富，都可以快速上手，完成高分辨率拍攝任務(wù)。

電子槍類型           高亮度肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

加速電壓             20 V ~ 30 kV

分辨率              0.8 nm @ 15 kV  1.2 nm @ 1 kV

樣品臺(tái)              五軸全自動(dòng)樣品臺(tái)

放大倍率             1 ~ 2,500,000 x

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡產(chǎn)品特點(diǎn)

分辨率高，低加速電壓下實(shí)現(xiàn)高分辨成像

高壓隧道技術(shù) (SuperTunnel), 在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應(yīng)，低電壓分辨率得到保證

電子光路無交叉，有效的降低系統(tǒng)像差，提升分辨能力

電磁復(fù)合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩(wěn)定性、可靠性和可重復(fù)性

磁偏轉(zhuǎn)六孔可調(diào)光闌，自動(dòng)切換光闌孔，無需機(jī)械調(diào)節(jié)，實(shí)現(xiàn)高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應(yīng)用領(lǐng)域

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡規(guī)格參數(shù)